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深冷空分制氮是一种传统的制氮（氮气）办法，已有近九十年的前史。它是以空气为原料，经过压缩、净化，再利用热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同(在1大气压下，前者的沸点为-183℃，后者的为-196℃)，经过液空的精馏，使它们分离来获得氮气。深冷空分制氮设备复杂、占地面积大，基建费用较高，设备一次投资较多，运转本钱较高，产气慢(12～24h），设备要求高、周期较长。综合设备、设备及基建诸因素，3500Nm3／h以下的设备，相同标准的PSA设备的投资规模要比深冷空分设备低20％～50％。深冷空分制氮设备宜于大规模工业制氮，而中、小规模制氮就显得不经济。